設(shè)備介紹
單軸單工位的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
可適用大部分的晶圓加工要求，兼顧整面磨削和留邊磨削
主要參數(shù)
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規(guī)格 |
單位 |
技術(shù)指標(biāo) |
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工件直徑 |
mm |
Ø150 / Ø300 |
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磨削方式 |
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整面磨削 / 留邊磨削 |
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金剛石砂輪（兼容DISCO砂輪） |
mm |
Ø300 |
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砂輪軸數(shù)量 |
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1 |
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砂輪軸功率 |
kW |
7.5 |
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砂輪軸轉(zhuǎn)速 |
r/min |
1000~4000 |
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Z軸行程 |
mm |
120 |
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Z軸磨削進(jìn)給速度 |
mm/s |
0.0001~0.08 |
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Z軸最小進(jìn)給量 |
µm |
0.1 |
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硅片厚度測(cè)量范圍 |
µm |
0~1800 |
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厚度測(cè)量分辨率 |
µm |
0.1 |
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夾持方式 |
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多孔真空吸盤(pán) |
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工件軸數(shù)量 |
|
1 |
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工件軸轉(zhuǎn)速 |
r/min |
10~300 |
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磨削后TTV |
µm |
1.5 |
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磨削后片間厚度偏差 |
µm |
±3 |
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精磨后表面粗糙度 |
Ra |
10nm |
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外形尺寸（W × D × H） |
mm |
850×1760×1900 |
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整機(jī)凈重 |
kg |
2200 |
